Левинштейн М. Е.

‍,

Симин Г. С.

Как изготавливают транзисторы в интегральных схемахЛевинштейн М. Е., Симин Г. С. Как изготавливают транзисторы в интегральных схемах // Квант. — 1985. — № 12. — С. 38‍—‍39.‍‍

Текстовое представление статьи находится в процессе подготовки. С графическим представлением можно ознакомиться в опубликованном номере